等离子清洗机(plasma cleaner),是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。
等离子清洗机除了具有清洗功能外,在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能,在清洗过程中,小型等离子清洗机的辉光放电可以加强这些材料的粘附性、相容性和浸润性。
这款等离子清洗机适合于实验室和小型生产。采用13。56Mhz的射频电源,能够用来匹配各种常用气体的等离子体。射频电源的功率从100W到1000W之间有多种常用规格可供选配,能够满足用户的多样化需求。
技术参数:
主要部件 |
指标名称 |
参数指标 |
清洗仓体 |
清洗仓材质 |
不锈钢 |
清洗仓尺寸 |
220mm x 220mm x300mm |
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射 频 电 源 |
电源特性 |
该电源为全固态射频电源,采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块,有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件,使产品的可靠性得以保证。 |
电源优势 |
●可长时间正常运行
● 电源效率高、发热少 |
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射频功率 |
0~500W连续可调 |
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信号频率 |
13.56MHz ±0.005% |
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反射功率 |
≤100W |
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功率稳定度 |
±0.1% |
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射频接头 |
N型头 |
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整机效率 |
≥75% |
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谐波分量 |
≤-50 dBc |
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冷却方式 |
强制风冷 |
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气 体 测 量 |
测量部件 |
浮子流量计 |
气体通道 |
两通道 |
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A通道量程 |
10~100ml |
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B通道量程 |
16~160ml |
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真 空 获 取 |
真空测量 |
数字真空计(电阻规) |
真空抽取 |
分子泵组 |
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抽气速率 |
旋片泵1。1L/s 分子泵600L/s |
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极限真空 |
1.0E-4Pa |
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管道接口 |
进气口:φ8快拧接头; 抽气口KF40/KF16 |
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连接管道 |
KF40真空波纹管 |
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电机功率 |
400W/1。5KW |
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其 它 |
供电电源 |
AC220V 50/60Hz |
整机功率 |
1000W |
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使用温度 |
-10℃ -- 40℃ |
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工作真空 |
≤40Pa |
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整机尺寸 |
600mmX650mmX730mm |
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整机重量 |
80kg(不含泵组) |
应用领域:
金属:去除金属表面的油脂,油污等有机物及氧化层;
汽车制造:用于汽车制造过程中的塑料和喷漆前处理;
纺织品生产:用于纺织品,滤网和薄膜的亲水性,疏水性和表面改性处理;
生物医疗:培养皿提高活性,血管支架,注射器,导管和各种材料的亲润,交合涂覆前处理;
航空航天:绝缘材料,电子元件等表面涂覆前处理;
电子:线路板的清洗和蚀刻。胶片,PP等材料的无氧化和活化处理,改进可焊性;
半导体行业:晶圆加工及处理去除光刻胶,封装前预处理;
LED:支架清洗封装前预处理;
塑料橡胶:提高PS,PE,PTFE,TPE,POM,AS和PP等材料表面活性,使其利于粘接,印刷。
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