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  • 产品名称:三靶等离子溅射镀膜仪

  • 产品型号:CY-PSP180G-3TA
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
三靶等离子溅射镀膜仪是我公司自主研发的一款高性价比等离子溅射镀膜设备,等离子溅射靶为2英寸的标准尺寸,客户可以根据需要选择1~3个靶的不同配置,以满足镀单层膜或者多种材料多层膜的不同实验需求。仪器所配电源为150W直流高压电源,可用于金属溅射镀膜,尤其适合金银铜等贵金属的镀膜。镀膜仪配有通气接口,可以通入保护性气体。仪器采用触摸屏控制,简单直观易于上手,能够一键实现镀膜启停、切换靶位、挡板旋转等操作,十分适合实验室选购。
详情介绍:

三靶等离子溅射镀膜仪是我公司自主研发的一款高性价比等离子溅射镀膜设备,等离子溅射靶为2英寸的标准尺寸,客户可以根据需要选择1~3个靶的不同配置,以满足镀单层膜或者多种材料多层膜的不同实验需求。仪器所配电源为150W直流高压电源,可用于金属溅射镀膜,尤其适合金银铜等贵金属的镀膜。镀膜仪配有通气接口,可以通入保护性气体。仪器采用触摸屏控制,简单直观易于上手,能够一键实现镀膜启停、切换靶位、挡板旋转等操作,十分适合实验室选购。

本镀膜仪标配为双极旋片真空泵,其具有体积小,抽真空快,操作简单的优势,若客户有进一步提升真空度的需要,可以联系技术人员选配分子泵组组成高真空系统。

三靶等离子溅射镀膜仪适用范围:

       可用于金属溅射镀膜,尤其适合金银铜等金属的镀膜。

三靶等离子溅射镀膜仪技术参数:

三靶等离子溅射镀膜仪

样品台

尺寸

φ138mm

控温精度

±1

加热温度

*高500

转速

1-20rpm可调

直流溅射头

数量

2"×1 1~3个靶可选)

真空腔体

腔体尺寸

φ180mm × 150mm

观察窗口

全向透明

腔体材料

高纯石英

开启方式

顶盖上翻式

真空系统

机械泵

旋片泵

抽气接口

KF16

真空测量

电阻规

排气接口

KF16

极限真空

1。0E-1Pa

供电电源

AC 220V 50/60Hz

抽气速率

旋片泵:1.1L/S

电源配置

数量

直流电源 x1

*大输出功率

150W

其他

供电电压

AC220V,50Hz

整机尺寸

360mm × 300mm × 470mm

整机功率

800W

整机重量

40kg


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