产品详情
  • 产品名称:有机无机蒸发镀膜仪

  • 产品型号:CY-OE
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
有机无机蒸发镀膜仪采用直线式结构,主要由二个有机材料生长室组成,两个有机材料生长室之间通过闸板阀联接,其中一个生长室系统预留与手套箱对接接口,能够完成二套独立的制备薄膜系统之间互相传送基片。有机无机蒸发镀膜仪的有机材料生长室主要由真空室腔体组件、有机蒸发源、热阻蒸发舟、样品传递装置、样品台、膜厚监测仪、真空室照明装置、烘烤装置等组成。
详情介绍:

有机无机蒸发镀膜仪设备用途:

有机无机蒸发镀膜仪用于生长薄膜太阳能电池,EL OEL分子有机电致发光器件薄膜的研究工作。广泛应用于大专院校、科研院所进行薄膜材料的科研与小批量制备。

有机无机蒸发镀膜仪技术参数:

真空室

二个D型真空室,尺寸均约为Ø450×H750mm;

两个真空室的真空系统配置、极限压力、恢复真空时间、热阻蒸发舟及电源、膜厚监测仪、真空室照明装置、烘烤装置、样品台的配置与技术参数指标相同;

真空系统配置

日本进口低温泵、无油涡旋干泵与电磁、复合数显真空测量规与计、阀门等。

极限压力

≤2.0×10-5Pa

恢复真空时间

40分钟可达到1×10-4Pa

电动磁力耦合样品传递装置

真空室1

采用磁力耦合line motion传递装置,采用步进电机驱动,设有远程手控控制盒,可控制直线前进后退。

有机蒸发源及电源

真空室1

新型0EL升华型蒸发源9支,每支蒸料可装10CC,室温-800℃7支,室温-1000℃2支;蒸发源电源4台。

真空室2

新型0EL升华型蒸发源6支,每支蒸料可装10CC,室温-800℃6支;蒸发源电源3台。

热阻蒸发舟及电源

新型蒸发舟2组(热阻蒸发舟);

数字式热阻蒸发电源1台,带有细调功能(0.1安培);镀铝专用盒式蒸发舟:2个;

普通金属蒸发舟10个;蒸发源挡板2套;

膜厚监测仪

厚度分辨率

不平均:0.0133埃/测量;50个样品平均:0.002埃/测量

速率分辨率

不平均:0。0133埃/秒;50个样品平均:0。02埃/秒

精度

0.03HZ/测量,2ppm

速度

每秒测量十次

真空室照明装置

采用LED外照明方式.避免镀膜污染照明灯

烘烤装置

在真空室外烘烤带的烘烤方式

样品台

样品尺寸

可放置一块100×100mm或者50×50mm基片

运动方式

可电动上下升降,可旋转,转速为0-30转/分,转速可调

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